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EUV技術(shù)的發(fā)展將影響到NAND閃存供貨鏈（圖）
在最近舉辦的閃存技術(shù)高峰會(huì)議上，Sandisk公司的技術(shù)高管Yoram Cedar對(duì)閃存市場(chǎng)的未來展望作了并不樂觀的判斷，他還表示，有下一代光刻技術(shù)之稱的EUVL極紫外光刻技術(shù)遲遲未能投入實(shí)用，恐怕會(huì)影響到NAND閃存供貨量的增長(zhǎng)速度和制造成本下降的速度，使其低于歷史水平。
SanDisk 公司是全球最大的閃速數(shù)據(jù)存儲(chǔ)卡產(chǎn)品供應(yīng)商。該公司由非易失性存儲(chǔ)技術(shù)領(lǐng)域的國(guó)際權(quán)威Harari Eli博士在1988年創(chuàng)立。1995年11月，SanDisk成為了一家公開上市的公司，其納斯達(dá)克股票代碼為SNDK。2004年，SanDisk公司收入達(dá)到18億美元。目前，公司在全球范圍內(nèi)擁有超過3000名雇員。公司總部設(shè)在美國(guó)加利福尼亞州的苗必達(dá)市。SanDisk的產(chǎn)品目前正通過全球12.5萬多家零售店出售，其中包括在亞太地區(qū)（除日本外）的2.3萬多家零售店。
他還表示，現(xiàn)有的液浸式光刻機(jī)將會(huì)繼續(xù)服役到10nm或更高級(jí)別的節(jié)點(diǎn)制程。另外一方面，各大廠商還在積極發(fā)展基于垂直型晶體管結(jié)構(gòu)的NAND閃存技術(shù)，這種新產(chǎn)品也將采用液浸式光刻機(jī)進(jìn)行制造，但是這種產(chǎn)品的存儲(chǔ)密度更高，因此可以改善供貨量增長(zhǎng)速度過慢的狀況。
上文所說的垂直型晶體管結(jié)構(gòu)NAND中起存儲(chǔ)作用的仍是傳統(tǒng)的MOS結(jié)構(gòu)，而NAND閃存技術(shù)發(fā)展的下一步則是向垂直型晶體管結(jié)構(gòu)中引入電阻可變型下一代存儲(chǔ)技術(shù)，這樣便可以將儲(chǔ)存芯片的位密度進(jìn)一步增加。但他表示這種基于電阻可變型技術(shù)的存儲(chǔ)芯片必須使用EUV光刻機(jī)才能進(jìn)行批量制造。
Cedar拒絕就EUV光刻技術(shù)投入實(shí)用的可能時(shí)間點(diǎn)，及垂直型晶體管結(jié)構(gòu)存儲(chǔ)芯片目前的發(fā)展?fàn)顟B(tài)進(jìn)行評(píng)論。不過他表示閃存業(yè)者會(huì)使用液浸式光刻機(jī)制造位密度在64-128Gbit的閃存芯片產(chǎn)品。
他說：”90nm節(jié)點(diǎn)時(shí)，我們都曾自以56nm節(jié)點(diǎn)恐怕就是制程節(jié)點(diǎn)縮減的極限了。“
但Cedar帶來的也并非全是悲觀的消息。好消息是閃存市場(chǎng)的需求目前正處在進(jìn)一步拓展的強(qiáng)勢(shì)階段，預(yù)計(jì)2015年閃存市場(chǎng)的增長(zhǎng)幅度有望達(dá)到25%，相比之下磁盤式存儲(chǔ)設(shè)備的市場(chǎng)需求增長(zhǎng)速度則僅不到其一半，DRAM內(nèi)存芯片的增長(zhǎng)幅度則預(yù)計(jì)僅1%左右。
Cedar在回答聽眾提問時(shí)表示：“許多業(yè)內(nèi)人士都對(duì)EUV技術(shù)非常關(guān)注，他們關(guān)注的焦點(diǎn)不僅僅是EUV何時(shí)能夠投入量產(chǎn)實(shí)用，而且還包括EUV光刻機(jī)的價(jià)格成本問題，EUV光刻機(jī)的售價(jià)通常可達(dá)數(shù)百萬美元水平。”（按照此前的有關(guān)報(bào)道，今年1月份已上市的部分試量產(chǎn)型EUV光刻機(jī)的售價(jià)水平有可能達(dá)到1.2億美元。）不過Cedar則對(duì)EUV光刻機(jī)價(jià)格進(jìn)一步下降持樂觀態(tài)度，他還提醒人們注意稱，以往人們?cè)鴶?shù)度對(duì)摩爾定律失去信心，認(rèn)為其已經(jīng)壽終正寢，但實(shí)際情況證明事實(shí)并非如此。
Cedar認(rèn)為，到2015年前，有三分之一的NAND閃存芯片產(chǎn)品將被用于制造智能手機(jī)，而屆時(shí)智能手機(jī)的銷量則會(huì)達(dá)到11億部，而15%的NAND閃存芯片則會(huì)被用于制造平板電腦產(chǎn)品，其2015年預(yù)計(jì)的銷量約在3.27億部。另外25%的NAND閃存則會(huì)被固態(tài)硬盤所用，后者在個(gè)人用戶市場(chǎng)的銷量有望達(dá)到1.33億塊，在服務(wù)器市場(chǎng)則有望達(dá)到1200萬塊。其余約26%的NAND閃存則會(huì)被MP3，USB閃盤，數(shù)碼相機(jī)等產(chǎn)品瓜分。
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